SOMMAIRE
Partie I Technologie du vide
I- Introduction 1
II- Généralité sur le vide 2
II.1- Définition du vide 2
II.2- Classification du vide 3
II-3. Utilités et applications du vide 3
a) Utilités du vide 3
b) Application du vide 4
III- Notions de terminologie du vide 4
IV- Production du vide 8
IV.1- Principe des techniques de production du vide 8
IV.2- Les différents types de pompes à vide 8
IV.2.1- Les pompes primaires 10
a- Pompes volumétriques rotatives à deux palettes 10
b- Pompes roots 12
IV.2.2- Les pompes secondaires 13
a- Pompes secondaire à diffusion d’huile 13
b- Les pompes turbomoléculaires 15
c- Les pompes à fixation 16
1- Les pompes à sorption 16
2- La pompe à sublimation de titane 17
3- La pompe ionique 17
4- La pompe cryogénique 18
V- Mesure du vide 20
V.1- Les manomètres mécaniques 20
V.2- Les jauges électriques 21
V.2.1- Jauges à « thermocouple » 21
V.2.2- Jauge de type « Pirani » 21
V.2.3- Jauges de type « Penning » 22
V.2.4- Jauges de type ionique (ou « Bayard-Alpert ») 22
IV- Recommandations (en guise de conclusions...) 23
Partie II Salle blanche
I- Introduction 24
II- Généralités sur la conception de salle blanche 24
III- Utilité 27
a- Dans le domaine agricole (biotechnologies vertes) 28
b- Dans le domaine de la santé (biotechnologies rouges) 28
c- Dans le domaine de l'industrie (biotechnologies blanches) 29
IV- Types de salle blanche et normes internationales 30
1- Normes générales 30
2- Normes sectorielles 31
3- Normes équipements 31
V- Filtration de l’air 33
VI- Règles d’accès à une salle blanche 36
VII- Règles d’utilisation des produits chimiques dangereux (Acides, bases, ….) 38
VIII- Présentation générale des équipements de la salle blanche 39
XI- Procédés Technologiques de la lithographie et gravure 42
- Teacher: Noubeil GUERMAT